光栅尺扫描头ID:658492-01 ,(old:LS186C Nr.156:)
光栅尺扫描头 LB326 Nr.156.
光栅读数头/ID:326799-02,LS603C光栅尺用
光栅移位编码器MT12(ID:243602-06)
线性编码器ID:336973-69
线性编码器ID:336973-69,LS603C,MI220MM
长度计376990-01
长度计Type:MT12(ID:243602-06)
长度计ST3077(511 398-01
长度计ST1277(511 395-03)
长光栅尺LS476 620mm,ID:329988-2Y;SN:T
长光栅尺LS476 ML1020mm,ID:329986-7M,SN:S
轴编码器ID:735117-61
HEIDENHAIN海德汉的光栅尺分为敞开式光栅尺和集成好的封闭式光栅尺,
根据方法的不同又分为增量式和绝对值式光栅尺,
以下是敞开式光栅尺的信息:
直线光栅尺测量直线轴位置过程期间没有
任何其它机械传动件。因此,它能消除以
下潜在误差源:
??滚珠丝杠温度特性导致的定位误差
??反向误差
??滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差
因此,直线光栅尺已成为高精度定位和高
速加工不可或缺的必备条件。
敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测
量的机床和系统。典型应用包括:
??半导体工业的测量和生产设备
?? PCB电路板组装机
??超精密机床,例如加工光学元件的金刚
石刀具,加工磁盘端面车床和加工铁氧
体元件的磨床
??高精度机床
??测量机和比较仪,测量显微镜和其它精
密测量设备
??直接驱动
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅
尺和读数头,光栅尺和读数头间无机械接
触。
敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安
装面上。安装面的平面度直接影响直线光
栅尺精度。绝对式位置测量
LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动
的行程达27 m内的绝对位置。其尺寸和安
装方式与LIDA 400相同。
基体和安装方式热膨胀系数
atherm
精度等级绝对式位置测量
LIC
用于绝对位置测量
钢带光栅尺穿入在铝壳中并预
紧
与安装面相同± 5 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
钢带光栅尺,嵌入在安装面中? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
增量式直线光栅尺
LIP
超高精度
Zerodur玻璃陶瓷基体,嵌入
在螺栓固定在不胀的钢基座上
? 0 · 10–6K–1 ± 0.5 μm3) Zerodur玻璃陶瓷光栅尺带固
定架
? 0 · 10–6K–1 ± 3 μm
± 1 μm
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体
光栅带固定架
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 1 μm
± 0.5 μm3)
玻璃光栅尺,安装架固定? 8 · 10–6K–1 ± 1 μm LIF
高精度
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体
光栅尺,通过PRECIMET背胶
固定
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 3 μm LIDA
用于高速运动和大测量长度
玻璃或玻璃陶瓷光栅尺,嵌入
在安装面中
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 5 μm3) 钢带光栅尺穿入在铝壳中并预
紧
与安装面相同± 5 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
钢带光栅尺,嵌入在安装面中? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 30 μm 钢带光栅尺,嵌入在安装面中? 10 · 10–6K–1 ± 30 μm PP
二维坐标测量
玻璃格栅板,全表面固定? 8 · 10–6K–1 ± 2 μm 1) 正弦信号周期。
它是单信号周期内误差的决定性因素(参见测量精度)。超高精度
LIP敞开式直线光栅尺的特点是测量步距
非常小、精度和重复精度非常高。 扫描方
式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位
光栅(LIP 281:OPTODUR相位光栅)。
高精度
LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是
SUPRADUR玻璃基体光栅,用干涉扫描方
法。特点是精度和重复精度高,安装简
单,有限位开关和回零轨。 特殊型号的
LIF 481 V可用于10–7bar的真空环境中(
参见其单独“产品信息”)。
运动速度快
LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速
度达10 m/s的高速运动应用,支持多种安
装方式,安装简单。根据相应应用要
求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻
璃或玻璃陶瓷。 也可有限位开关。
敞开式光栅尺型号:
EIDENHAIN常用型号:
编码器ID:533110-01
读数头ID:326799-02
移动光栅MT 12W # 231011-03
编码器533110-01
电缆332201-01
编码器ID:735117-56
编码器557680-08
编码器557679-05
编码器ID:727221-51
编码器ID:385428-06
编码器586653-06
编码器MT12 ID:243602-06
编码器ID:385428-06
编码器533110-01
编码器ID:727221-51
编码器ID:385428-06
编码器AELB382C ID:315420-04 K10
编码器 ID:735117-56
电缆558432-15
电缆332201-01
电缆558432-15
读数头ID:326799-02
光栅测量头MT12W,12MM ID:231011-03
光栅尺LB382C ML640mm .315418-02
光栅尺LS703 ML470mm .336976-07
光栅尺LS1378C ML170 # 516308-B1+电缆 LS1378C适配电缆(光栅尺配用)
光栅尺LS406C ML4200MM,ID:329983-14
光栅尺Type:MT12(ID:243602-06)
光栅尺ID:329983-14
光栅尺ID:336973-70
光栅尺ID:336973-74
光栅尺557679-38
光栅尺557679-12
光栅尺ID:355884-07
用于绝对位置测量
LIC 4015 18